①方法誤差.主要指因測量方法不完善而造成的誤差，如采點數和位置選擇、基準選擇和測量、工件安裝是否合理等。測量方法的選擇應基于對圖紙、零件裝配、功能等的透徹分析，對不明確之處，由經驗豐富的人員加以把握。

 

　　②設備誤差。三坐標測量機的日常維護保養和定期的精度補償非常重要，另外，測量頭也是這類誤差的重要來源，如測量座不同角度旋轉定位引起的誤差。誤差補償技術是解決測量設備誤差的一種重要手段，研究人員對其進行了深入研究，是今后提高測量精度的主要趨勢。

 

　　③人員誤差。指測量人員由于自身能力的限制，在測量過程中引入的誤差，如手工采點時由于測量速度、方向和力度的不同而引起的誤差。測量人員在測量過程中盡量使各種測量影響因素趨于一致、減小，如測量力相同、速度均勻過渡等，盡量采用三坐標測量機的自動測量模式。

 

　　④環境誤差.指因環境因素和測量設備所規定標準狀態不一致所造成的誤差。溫度，濕度，氣壓，振動，灰塵等，溫度是影響測量精度的主要因素。三坐標測量機的溫度要求為20+/-2℃