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雷尼紹激光干涉儀的應用

更新時間:2022-01-17點擊次數:1493
   雷尼紹激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在雷尼紹激光干涉儀動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
  應用:
  (1)幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。
  (2)位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差,同時可最大限度地選用被測軸上的補償點數,使機床達到最佳精度,另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。
  (3)數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償 現在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統用自準直儀和多面體的方法不僅節約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉軸精度曲線,知曉其精度的每一細節,并給出按相關標準處理的統計結果。
  (4)雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床,由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進行補償。
  (5)數控機床動態性能檢測 利用RENISHAW動態特性測量與評估軟件,可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析(FFT),滾珠絲杠的動態特性分析,伺服驅動系統的響應特性分析,導軌的動態特性(低速爬行)分析等。
  雷尼紹激光干涉儀以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩定可靠。
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